科技成果路演系列活动（成果需求汇编）——新装备类推介之十四

14、飞秒激光双光子聚合大面积快速精密加工设备 

　　一、成果来源：长春工业大学  

　　二、成果简介：  

　　双光子聚合加工商业化设备主要依靠进口，存在着价格昂贵（300万 ~450万）、维护困难等问题。项目组自主研发的飞秒激光双子聚合大面积快速精密加工系统，能够完成复杂三维微纳结构的加工，同时可实现光刻胶、金属离子溶液等材料的大面积、高效、高质量加工以及在线观测。该装置由大行程运动平台、三维微动平台、扫描振镜等组成，可实现多种扫描方式的加工。自主研发的自适应分层、拟静态曝光以及误差补偿技术，具有加工质量更好，效率更高，加工尺度更大的优点，可广泛应用于高等院校、科研院所以及医疗器械、微纳制造企业等，已应用于微流体、微电子、微光子、MEMS、生物支架以及超材料等重要领域。主要技术指标:（1）最小加工分辨率 100nm;（2）最大加工范围:100mm×100mm×100mm;（3）可加工材料:近 380nm 波段紫外光敏材料，如光刻胶、金属离子溶液等。  

　　三、合作方式：面议