科技成果路演系列活动（成果需求汇编）——新装备类推介之四

4、基于 DMD 的光刻打印一体化设备 

　　一、成果来源：东北师范大学  

　　二、成果简介：  

　　利用数字阵列微镜（DMD）形成光刻和打印一体化设备，以满足多种领域在二维、三维微结构制作方面实验研究需求。将微位移平台、旋转转台放置在光刻平面下面，通过DMD的图形变换、以及平台运动和曝光能量的组合，形成不同周期和非周期、超DMD像素尺寸分辨率的微纳结构曝光。同时配置z运动轴和打印盒以及打印基片结构，在不安装打印盒和基片的时候，可以进行二维光刻工作。当安装上打印盒和基片的时候，通过z轴运动，就可进行三维的打印。镜头可以提供多样化选择（2倍、5倍、10倍甚至20倍）。光源可以选择365nm、385nm、405nm不同波段。  

　　配备可以方便二次开发的软件，根据自己的需求，组合各种命令，形成各种图形高光和结构打印的特定操作软件。  

　　三、合作方式：面议